X射線熒光光譜儀晶圓分析儀馬爾文帕納科

2830 ZT 波長(zhǎng)色散 X 射線熒光 (WDXRF) 晶圓分析儀提供了用于測(cè)量薄膜厚度和成分的功能。 2830 ZT 晶圓分析儀專門針對(duì)半導(dǎo)體和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)行業(yè)而設(shè)計(jì)，該儀器可為多種晶片（厚達(dá) 300 mm）測(cè)定層結(jié)構(gòu)、厚度、摻雜度和表面均勻性。

X射線熒光光譜儀晶圓分析儀馬爾文帕納科  特點(diǎn)

持續(xù)的性能和速度

4 kW SST-mAX X 射線管配備了突破性的 ZETA 技術(shù)，可以消除 X 射線管老化效應(yīng)。 這種“全新射線管"性能可以在 X 射線管整個(gè)壽命期間得到保持，同時(shí)高靈敏度與 ZETA 技術(shù)相結(jié)合，確保了在 X 射線管壽命期間可以一直提供快速的分析和簡(jiǎn)短的測(cè)量時(shí)間。 ZETA 技術(shù)顯著減少了對(duì)于漂移校正和重新校準(zhǔn)的需求，從而提高了儀器的生產(chǎn)率和正常運(yùn)行時(shí)間。

正常運(yùn)行時(shí)間大大提升

傳統(tǒng) X 射線管會(huì)出現(xiàn)鎢燈絲揮發(fā)，從而導(dǎo)致光管鈹窗內(nèi)部出現(xiàn)沉淀物污染鈹窗。 使用此類 X 射線管的儀器需要定期進(jìn)行漂移校正以補(bǔ)償下降的強(qiáng)度，尤其是對(duì)于輕元素而言。

2830 ZT 采用 SST-mAX 射線管解決了這一漂移問(wèn)題，從而大大提升了正常運(yùn)行時(shí)間并能夠隨著時(shí)間的推移維持儀器精度。

易于使用

2830 ZT 配置SuperQ 軟件，該軟件包含了 FP Multi - 一個(gè)專門針對(duì)多層分析開(kāi)發(fā)的專用軟件包。 該軟件的用戶界面確保即使是沒(méi)有經(jīng)驗(yàn)的操作員也可以對(duì)多層進(jìn)行全自動(dòng)的基本參數(shù)分析。
該儀器的 SuperQ 軟件具有多種易于使用的模塊，這些模塊能夠方便研究者和工程師進(jìn)行靈活的操作。 可以輕松切換配方和調(diào)整設(shè)備參數(shù)以適應(yīng)用戶偏好。

FALMO-2G

FALMO-2G 可輕松集成到任意實(shí)驗(yàn)室或晶片廠中：從簡(jiǎn)單的人工托架裝載到全自動(dòng)。 *靈活的設(shè)計(jì)讓晶片廠經(jīng)理能夠選擇 FOUP、SMIF 或開(kāi)放式裝入端口，配有一個(gè)或兩個(gè)裝入端口配置。 各種配置的 FALMO-2G 均受到符合 GEM300 的軟件支持。 FALMO-2G 的占地空間大大降低，而沒(méi)有損失靈活性、功能。

應(yīng)用

靈活操作

該儀器的 SuperQ 軟件具備多種易用使用的模塊，這些模塊能夠方便研究者和工程師進(jìn)行靈活的操作。 可以輕松切換配方和調(diào)整設(shè)備參數(shù)以適應(yīng)用戶偏好。

技術(shù)指標(biāo)