簡(jiǎn)要描述:X射線熒光光譜儀晶圓分析儀馬爾文帕納科半導(dǎo)體薄膜計(jì)量解決方案2830 ZT 波長(zhǎng)色散 X 射線熒光 (WDXRF) 晶圓分析儀提供了用于測(cè)量薄膜厚度和成分的功能。 2830 ZT 晶圓分析儀專門針對(duì)半導(dǎo)體和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)行業(yè)而設(shè)計(jì),該儀器可為多種晶片(厚達(dá) 300 mm)測(cè)定層結(jié)構(gòu)、厚度、摻雜度和表面均勻性。
產(chǎn)品分類
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品牌 | 馬爾文帕納科 | 行業(yè)專用類型 | 通用 |
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價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類 | 臺(tái)式/落地式 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
X射線熒光光譜儀晶圓分析儀馬爾文帕納科 半導(dǎo)體薄膜計(jì)量解決方案
2830 ZT 波長(zhǎng)色散 X 射線熒光 (WDXRF) 晶圓分析儀提供了用于測(cè)量薄膜厚度和成分的功能。 2830 ZT 晶圓分析儀專門針對(duì)半導(dǎo)體和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)行業(yè)而設(shè)計(jì),該儀器可為多種晶片(厚達(dá) 300 mm)測(cè)定層結(jié)構(gòu)、厚度、摻雜度和表面均勻性。
4 kW SST-mAX X 射線管配備了突破性的 ZETA 技術(shù),可以消除 X 射線管老化效應(yīng)。 這種“全新射線管"性能可以在 X 射線管整個(gè)壽命期間得到保持,同時(shí)高靈敏度與 ZETA 技術(shù)相結(jié)合,確保了在 X 射線管壽命期間可以一直提供快速的分析和簡(jiǎn)短的測(cè)量時(shí)間。 ZETA 技術(shù)顯著減少了對(duì)于漂移校正和重新校準(zhǔn)的需求,從而提高了儀器的生產(chǎn)率和正常運(yùn)行時(shí)間。
傳統(tǒng) X 射線管會(huì)出現(xiàn)鎢燈絲揮發(fā),從而導(dǎo)致光管鈹窗內(nèi)部出現(xiàn)沉淀物污染鈹窗。 使用此類 X 射線管的儀器需要定期進(jìn)行漂移校正以補(bǔ)償下降的強(qiáng)度,尤其是對(duì)于輕元素而言。
2830 ZT 采用 SST-mAX 射線管解決了這一漂移問(wèn)題,從而大大提升了正常運(yùn)行時(shí)間并能夠隨著時(shí)間的推移維持儀器精度。
2830 ZT 配置SuperQ 軟件,該軟件包含了 FP Multi - 一個(gè)專門針對(duì)多層分析開(kāi)發(fā)的專用軟件包。 該軟件的用戶界面確保即使是沒(méi)有經(jīng)驗(yàn)的操作員也可以對(duì)多層進(jìn)行全自動(dòng)的基本參數(shù)分析。
該儀器的 SuperQ 軟件具有多種易于使用的模塊,這些模塊能夠方便研究者和工程師進(jìn)行靈活的操作。 可以輕松切換配方和調(diào)整設(shè)備參數(shù)以適應(yīng)用戶偏好。
FALMO-2G 可輕松集成到任意實(shí)驗(yàn)室或晶片廠中:從簡(jiǎn)單的人工托架裝載到全自動(dòng)。 *靈活的設(shè)計(jì)讓晶片廠經(jīng)理能夠選擇 FOUP、SMIF 或開(kāi)放式裝入端口,配有一個(gè)或兩個(gè)裝入端口配置。 各種配置的 FALMO-2G 均受到符合 GEM300 的軟件支持。 FALMO-2G 的占地空間大大降低,而沒(méi)有損失靈活性、功能。
該儀器的 SuperQ 軟件具備多種易用使用的模塊,這些模塊能夠方便研究者和工程師進(jìn)行靈活的操作。 可以輕松切換配方和調(diào)整設(shè)備參數(shù)以適應(yīng)用戶偏好。
樣品處理 | X 射線管 | 通道 | 安裝 |
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直接進(jìn)樣 100 - 300 毫米的晶片;較小的尺寸可以通過(guò)特殊適配器處理 | SST-mAX75,超尖銳端窗射線管,SST-mAX50 為選配 | 最多 24 個(gè)固定通道 | 符合 SEMI S2/S8 |
FOUP、SMIF、開(kāi)放式載盤和手動(dòng)進(jìn)樣選項(xiàng)可用 | 測(cè)量點(diǎn)尺寸 40 和 10 mm;可以測(cè)量其他點(diǎn)尺寸 | 最大值(M) 2 個(gè)測(cè)角儀 | 符合 SECS/GEM |
高達(dá)每小時(shí) 25 塊晶片的樣品處理能力 | Zeta 技術(shù) | 高性能硼通道,以獲得高靈敏度和處理量 | |
適用于 B、C、N、O、F、Mg、Wsix、TiSix、CoSix 的專用高性能通道,具有高靈敏度和高處理量 | |||
氬氣/甲烷混合氣體 | |||
流氣探測(cè)器 | |||
封閉式計(jì)數(shù)器 | |||
掃描儀 10 o-100 o 2θ | |||
帶有 300 µm 鈹窗的閃爍式探測(cè)器 |
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